• 作者：

  苑伟政，谢建兵，焦文龙著

• 出版社：

  国防工业出版社

  出版时间：

  2014.11

• ISBN：

  978-7-118-09583-8

• 主题：

  微电子技术

• 丛编：

  微米纳米技术丛书

• 分丛编题名：

  MEMS与微系统系列

• 中图法分类号：

  TN4

• 【中图法分类】

  T 工业技术 ->TN无线电电子学、电信技术 ->TN4微电子学、集成电路（IC）

• 【学科分类】

  工学 ->电子科学与技术

• 工学 ->电子科学与技术 ->微电子学与固体电子学

• 文件大小：

  148.44MB

  页码：

  330