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作者：
黄庆安，周再发，宋竞著出版社：
出版时间：
2014.12ISBN：
978-7-118-09784-9主题：
纳米材料丛编：
微米纳米技术丛书分丛编题名：
MEMS与微系统系列中图法分类号：
TN4【中图法分类】
T 工业技术 ->TN无线电电子学、电信技术 ->TN4微电子学、集成电路（IC）【学科分类】
工学 ->电子科学与技术文件大小：
页码：
395