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纳米尺度几何量和机械量测量技术
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纳米尺度几何量和机械量测量技术
作者:
赵学增,王伟杰著
出版社:
哈尔滨工业大学出版社
出版时间:
2012.06
ISBN:
978-7-5603-3864-4
主题:
几何量
丛编:
先进制造理论研究与工程技术系列
中图法分类号:
TB92
【中图法分类】
T 工业技术
->
TB一般工业技术
->
TB9计量学
【学科分类】
工学
工学
->
仪器科学与技术
工学
->
仪器科学与技术
->
测试计量技术及仪器
文件大小:
198.00MB
页码:
296
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内容简介
本书在总结作者科研工作的基础上,较全面地对纳米尺度线宽测量、纳米尺度边缘粗糙度测量、纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量等进行了论述。
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