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纳米尺度几何量和机械量测量技术
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内容简介
本书在总结作者科研工作的基础上,较全面地对纳米尺度线宽测量、纳米尺度边缘粗糙度测量、纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量等进行了论述。
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