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半导体集成电路的可靠性及评价方法
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半导体集成电路的可靠性及评价方法
作者:
章晓文,恩云飞编著
出版社:
电子工业出版社
出版时间:
2015.10
ISBN:
978-7-121-27160-1
主题:
半导体集成电路
丛编:
可靠性技术丛书
中图法分类号:
TN43
【中图法分类】
T 工业技术
->
TN无线电电子学、电信技术
->
TN4微电子学、集成电路(IC)
【学科分类】
工学
->
电子科学与技术
工学
->
电子科学与技术
->
微电子学与固体电子学
文件大小:
209.43MB
页码:
413
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内容简介
本书共11章,以硅集成电路为中心,重点介绍了半导体集成电路及其可靠性的发展演变过程、集成电路制造的基本工艺、半导体集成电路的主要失效机理、可靠性数学、可靠性测试结构的设计、MOS场效应管的特性、失效机理的可靠性仿真和评价。
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