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先进干涉检测技术与应用
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内容简介
本书系统地论述了先进干涉检测技术所涉及的各方面光学原理及其应用。主要内容包括:干涉检测相关光学原理、常用干涉仪、共路干涉仪、剪切干涉仪、点衍射干涉仪、位相调制技术、非球面检测技术、干涉光谱技术、干涉图处理技术等。
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